三維光學(xué)檢測儀的全自動(dòng)測量過程中優(yōu)異的影像識(shí)別能力使得全自動(dòng)測量成為可能，改變了傳統(tǒng)的依靠經(jīng)驗(yàn)的手動(dòng)測量方式，使自動(dòng)測量的重復(fù)性控制在微米級，極大地提高了檢測水平。

　　三維光學(xué)檢測儀的干涉形狀測量的思想就是條紋通過靈敏度矩陣的變化而形成的。這種矩陣將物體的幾何形狀同被測的光學(xué)相位相聯(lián)系。矩陣包括三個(gè)變量:波長、折射率、照明和觀察方向。由此產(chǎn)生三種測量方法:雙頻或多頻干涉法,折射率變化法以及兩種光源干涉法。通過獲得干涉信息以獲得三維圖像的方法這種系統(tǒng)要求有遠(yuǎn)心攝像系統(tǒng)和能用多個(gè)激光頻率連續(xù)照射物體的可變激光光源,從而可使用N個(gè)波長的激光產(chǎn)生干涉,N的范圍可通過傅立葉算法來確定再利用頻率域與空間域之間的傅立葉變換關(guān)系確定深度用N頻干涉法測量深度有一個(gè)重要特征,即能夠以超乎想象的準(zhǔn)確度對頂蜂返回位置進(jìn)行定位,然后通過對返回位置進(jìn)行插值來確定高度值。

　　全息干涉測量是把干涉測量與全息照相結(jié)合起來,通過干涉條紋有效地把位相變化情況記錄下來,對任意形狀物體及其表面作動(dòng)態(tài)三維立體圖像攝影,并經(jīng)圖像重疊產(chǎn)生干涉測量,可分為實(shí)測法和雙重曝光法。計(jì)算機(jī)全息干涉測量是用計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)模型直接顯示三維零件的全息圖,作為被測標(biāo)準(zhǔn)零件的波面,再與實(shí)際零件表面相干,即可檢測出實(shí)際零件誤差。利用頻移的雙外差干涉是一種高準(zhǔn)確度的深度測量技術(shù)。研究顯示在100m的測量范圍內(nèi)分辨力達(dá)到0.1mm。干涉法的優(yōu)點(diǎn)是不存在三角法中的遮擋問題。利用相移干涉技術(shù)測量分辨力可優(yōu)于10nm;將相移分析技術(shù)、干涉技術(shù)和外差技術(shù)綜合起來,再配以精密的光學(xué)裝置,測量誤差可達(dá)到一個(gè)條紋的1/10000。激光跟蹤式系統(tǒng)也采用干涉原理測量距離,用兩個(gè)高準(zhǔn)確度的角度編碼器來確定垂直角度和水平角度。激光跟蹤系統(tǒng)是一種掃描系統(tǒng),通常用來跟蹤光學(xué)傳感器或機(jī)器人的位置。